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金融界2025年8月1日消息，国家知识产权局信息显示，深圳市亿优威光科技有限公司申请一项名为“一种用于EUV光源的液滴靶发生装置”的专利，公开号CN120404072A，申请日期为2025年05月。

专利摘要显示，本发明涉及流体力学技术领域，尤其涉及一种用于EUV光源的液滴靶发生装置，包括：供液组件、液滴喷射组件和压电驱动组件；本发明利用气压控制器对储液器内的溶液施加正压，将溶液供应至喷嘴至挤出射流，随后切换至负压，迫使射流终止，喷嘴口维持向里的弯月面；然后通过驱动信号控制器驱动压电元件，利用压电元件的形变在毛细管内的液体中产生正负交替的声压力波，声压力波传递至喷嘴口从而喷射出液滴；并且，该装置通过对驱动信号控制器的参数设置，可获得不同频率的稳定液滴的产生，操作简单、控制精确、可调节范围大，可产生稳定的大间距单分散液滴，适用于EUV光源中液滴靶的发生。

天眼查资料显示，深圳市亿优威光科技有限公司，成立于2023年，位于深圳市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本226.666666万人民币。通过天眼查大数据分析，深圳市亿优威光科技有限公司专利信息8条，此外企业还拥有行政许可3个。

本文源自：金融界

作者：情报员

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